TY  - BOOK
AU  - Thomas M.Adams
AU  - Layton
TI  - Introductory MEMS
SN  - 0000103954
U1  - 621.35 
PY  - 2012///
CY  - New Delhi
PB  - Springer
KW  -  MEMS
KW  - Introductory
KW  - Mechanical Measurement
ER  -